金刚石车床加工的超精密衍射光栅精度已达1nm，实验室已经可以制作10nm以下的线柱槽微纳米技术的发展，离不开微米级和纳米级的测量技术与设备具有微米及亚微米测量精度的几何量与表面形貌测量技术已经比较成熟，如HP5528双频激光干涉测量系统精度10nm具有1nm精度的光学触针式轮廓扫描系统等因为扫描隧道。刀具和工件...